為應(yīng)對先進(jìn)半導(dǎo)體制造對關(guān)鍵材料的極致要求，推動檢測技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，2026年1月15日，由珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司聯(lián)合上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院有限公司（上海市電子化學(xué)品計(jì)量檢測技術(shù)專業(yè)服務(wù)平臺）、集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體主辦的 “半導(dǎo)體電子特氣發(fā)展趨勢與檢測技術(shù)創(chuàng)新交流會” 在上海浦東新區(qū)成功召開。會議匯聚了產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)的70余位專家代表，圍繞電子特氣的技術(shù)挑戰(zhàn)、創(chuàng)新檢測方案與國產(chǎn)化發(fā)展路徑進(jìn)行了深度研討與思想碰撞。
凝聚共識，展望合作
會議伊始，珀金埃爾默大中華區(qū)分析與解決方案銷售負(fù)責(zé)人 華長春 先生致歡迎辭：
他強(qiáng)調(diào)了分析檢測技術(shù)在保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全中的基石作用，并介紹了珀金埃爾默在核心儀器國產(chǎn)化方面的持續(xù)投入與最新進(jìn)展，表達(dá)了深耕中國市場、服務(wù)本土產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的決心。
隨后上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院有限公司總經(jīng)理助理、科技信息處處長，全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會委員 陳鷹 正高級工程師代表主辦方致辭。
他指出，本次會議旨在搭建高水平的產(chǎn)學(xué)研用對話平臺，聚焦電子化學(xué)品計(jì)量檢測等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，凝聚行業(yè)智慧，共同應(yīng)對挑戰(zhàn)，并與產(chǎn)業(yè)伙伴攜手推動高質(zhì)量發(fā)展。
專題報(bào)告：洞見挑戰(zhàn)、方案與未來創(chuàng)新方案：全流程質(zhì)控與顛覆性技術(shù)突破
珀金埃爾默半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人 黃清發(fā) 在《珀金埃爾默電子特氣檢測方案及國產(chǎn)化進(jìn)程》報(bào)告中，系統(tǒng)介紹了從原料檢驗(yàn)（IQC）、過程監(jiān)控（IPQC）到成品檢測（FQC）的全流程質(zhì)量控制解決方案。該方案核心涵蓋了氣相色譜儀（GC）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）、紫外分光光度計(jì)（UV）及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等先進(jìn)實(shí)驗(yàn)室儀器，可精準(zhǔn)分析各類電子特氣中的痕量雜質(zhì)。
報(bào)告特別重點(diǎn)介紹了創(chuàng)新的氣體直接進(jìn)樣-ICPMS（GDI-ICPMS）技術(shù)。珀金埃爾默外聘專家 Tommy Lee 在《GDI-ICPMS氣體分析方案》報(bào)告中，通過詳實(shí)的數(shù)據(jù)對比和應(yīng)用案例（包括在韓國市場的成熟應(yīng)用），充分展示了該技術(shù)相比傳統(tǒng)鼓泡吸收法的顛覆性優(yōu)勢：直接進(jìn)樣、無前處理污染、分析前處理時間僅需約5分鐘、接近100%的金屬雜質(zhì)回收率、以及低于0.1 ppt的超高靈敏度。GDI-ICPMS技術(shù)為半導(dǎo)體制造中金屬雜質(zhì)的精準(zhǔn)、快速、安全監(jiān)控提供了強(qiáng)大的支持。
產(chǎn)業(yè)圖景：國產(chǎn)化進(jìn)程的“三維突破”與理性思考
上海集成電路材料研究院有限公司材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室總監(jiān) 孫猛 博士在《電子特氣國產(chǎn)化進(jìn)程評估：技術(shù)、產(chǎn)能與市場格局的三維突破》報(bào)告中，全面評估了國產(chǎn)電子特氣產(chǎn)業(yè)的進(jìn)展。他指出，當(dāng)前國內(nèi)產(chǎn)業(yè)已在技術(shù)、產(chǎn)能、市場三個維度實(shí)現(xiàn)顯著突破：
1技術(shù)面
產(chǎn)品純度穩(wěn)定達(dá)到6N并向更高水平邁進(jìn)，部分關(guān)鍵技術(shù)實(shí)現(xiàn)自主。
2產(chǎn)能面
總產(chǎn)能快速增長，形成了長三角、珠三角等區(qū)域性產(chǎn)業(yè)集群。
1市場面
格局已從外資壟斷演變?yōu)橹型飧偤希就疗髽I(yè)在頭部晶圓廠的滲透率持續(xù)提升。
同時，孫猛博士也提醒行業(yè)需保持理性，關(guān)注部分品種可能出現(xiàn)的產(chǎn)能規(guī)劃過剩風(fēng)險(xiǎn)，未來應(yīng)加強(qiáng)核心技術(shù)攻堅(jiān)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同優(yōu)化和市場理性布局。
核心挑戰(zhàn)：先進(jìn)制程驅(qū)動檢測邁入“ppt時代”
上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院有限公司材質(zhì)中心高級工程師 魏王慧 在其報(bào)告《半導(dǎo)體發(fā)展進(jìn)程下電子氣體分析技術(shù)要求與測試方法》中明確指出，隨著制程節(jié)點(diǎn)邁向3nm及以下，半導(dǎo)體制造對電子氣體的純度要求已攀升至9N（99.9999999%）級，對痕量雜質(zhì)（水分、金屬離子、顆粒物、酸堿污染物等）的檢測靈敏度需求達(dá)到ppb（十億分之一）至ppt（萬億分之一）級別。她系統(tǒng)闡述了當(dāng)前分析技術(shù)面臨的瓶頸，并指出未來將朝著更高精度、智能化自動化、多功能集成與模塊化、綠色安全以及標(biāo)準(zhǔn)國際化與國產(chǎn)自主創(chuàng)新的方向發(fā)展。魏王慧高工介紹，其所在的實(shí)驗(yàn)室已具備覆蓋各類氣體的CMA/CNAS全項(xiàng)檢測資質(zhì)，是國內(nèi)檢測能力最全的專業(yè)氣體分析實(shí)驗(yàn)室之一，為產(chǎn)業(yè)提供了有力的技術(shù)支撐。
圓桌論道：碰撞思維，共探前路
在圓桌論壇環(huán)節(jié)，孫猛博士、魏王慧高工與特邀專家湯劍波、宛志文以及Tommy Lee同臺，圍繞 “國內(nèi)半導(dǎo)體電子特氣的市場前景”、“國產(chǎn)化進(jìn)程的深化路徑”、“標(biāo)準(zhǔn)化體系建設(shè)”以及“韓國電子特氣市場及技術(shù)趨勢” 等熱點(diǎn)議題展開了深入討論�，F(xiàn)場交流熱烈，專家們的真知灼見為行業(yè)發(fā)展提供了多元視角和前瞻思考。
扎根中國：珀金埃爾默的國產(chǎn)化實(shí)踐與承諾
作為行業(yè)的重要參與者與本次會議的支持方，珀金埃爾默以實(shí)際行動踐行對中國市場的承諾。位于蘇州太倉的制造與供應(yīng)鏈中心自2017年投產(chǎn)以來，已成功實(shí)現(xiàn)了包括原子吸收光譜儀（AAS）、氣相色譜儀（GC）、紫外可見分光光度計(jì)（UV）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等多條核心產(chǎn)品線的本土化生產(chǎn)。通過持續(xù)構(gòu)建穩(wěn)定可靠的本地化供應(yīng)鏈體系，并在生產(chǎn)全過程恪守ISO9001國際質(zhì)量體系，珀金埃爾默確保了“中國制造”擁有“世界一流”的品質(zhì)，致力于以更快的響應(yīng)速度和更優(yōu)的服務(wù)，為中國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展與供應(yīng)鏈自主可控提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。
本次交流會的成功舉辦，不僅為產(chǎn)業(yè)鏈各方提供了寶貴的知識分享與經(jīng)驗(yàn)交流平臺，更明晰了在先進(jìn)制程牽引下，電子特氣檢測技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的方向。珀金埃爾默期待與更多合作伙伴攜手，以持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新和深入的產(chǎn)業(yè)協(xié)作，共同應(yīng)對挑戰(zhàn)，把握時代機(jī)遇，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心材料自主化與長遠(yuǎn)發(fā)展貢獻(xiàn)專業(yè)力量。
